在工業生產(chan)(chan)中(zhong),對(dui)于(yu)平面(mian)加熱(re)過程,保(bao)(bao)證表面(mian)溫度(du)分(fen)布(bu)的均勻性至關(guan)重要。這(zhe)一(yi)點對(dui)于(yu)確保(bao)(bao)產(chan)(chan)品質量(liang)、提高生產(chan)(chan)效(xiao)率至關(guan)重要。而(er)紅外(wai)線加熱(re)技術由(you)于(yu)其高效(xiao)、均勻、可控和非接觸的特點,成為了解(jie)決平面(mian)加熱(re)需(xu)求的理(li)想選擇。在這(zhe)一(yi)領(ling)域(yu),LONGPRO公司推出了一(yi)系列創(chuang)新技術,旨在實現平面(mian)高均勻度(du)的紅外(wai)加熱(re),從而(er)滿足(zu)不同行(xing)業的加熱(re)需(xu)求。
LONGPRO的(de)紅外線(xian)輻(fu)(fu)射(she)加熱(re)模塊通(tong)過優化熱(re)源燈(deng)(deng)絲內(nei)部發(fa)光體結構(gou)、反光板結構(gou)以(yi)及陣列布(bu)燈(deng)(deng),使得被加熱(re)表(biao)面能(neng)夠接收到均勻的(de)紅外輻(fu)(fu)射(she)能(neng)量(liang),從而(er)有(you)效降(jiang)低了溫(wen)度(du)不均勻所帶來的(de)不良工藝質量(liang)問題。
LONGPRO平(ping)面加熱方(fang)案
1、優化(hua)燈(deng)絲熱(re)能分布結(jie)構(gou): 通過(guo)改(gai)進燈絲(si)的(de)熱能分布結構,實現了(le)類矩形加熱,與傳統(tong)的(de)雙尖形加熱方式相(xiang)比(bi),有(you)效減少了(le)中間區域的(de)熱聚(ju)集,避(bi)免了(le)兩端溫度不(bu)均勻的(de)問題。這(zhe)一技(ji)術改(gai)進在晶圓(yuan)片、電池片、金屬片等平(ping)面材(cai)料的(de)加熱過(guo)程中具有(you)顯著的(de)效果。
2、LONGPRO數據庫+光學運(yun)算: 結合(he)先進(jin)的(de)數據庫和光學運算技術,精確(que)(que)計算出陣列布燈(deng)的(de)距離與高度(du)比例,以確(que)(que)保在(zai)晶圓表面(mian)均(jun)勻(yun)分布的(de)紅外輻射能量(liang),從而進(jin)一步提升加熱效果。這種精密的(de)設計能夠確(que)(que)保在(zai)加熱過(guo)程中(zhong)不同區域的(de)溫度(du)分布相對均(jun)勻(yun),提高了(le)生(sheng)產(chan)效率和產(chan)品質量(liang)。
3、背(bei)面弧形光(guang)學(xue)反光(guang)曲率設計: 采用背面弧形光(guang)學反(fan)光(guang)曲率(lv)設計,對輻照場(chang)進行修(xiu)正(zheng),進一步提高(gao)了整個加(jia)熱(re)場(chang)的均勻性。這項技術的應用能夠有(you)效避免不(bu)均勻的輻射熱(re)場(chang)現象(xiang),確保(bao)加(jia)熱(re)過程中的溫度分布更加(jia)均勻。
4、精確(que)的溫度控制系統(tong):我們配備了先進(jin)的(de)(de)(de)電控(kong)系統(tong)和非接觸(chu)式測(ce)溫(wen)探頭,實(shi)(shi)現了閉環控(kong)制。這意味著他們能夠實(shi)(shi)時(shi)監測(ce)材料表面的(de)(de)(de)溫(wen)度,快速響應并調整加(jia)熱功率,以減少溫(wen)度過沖或(huo)不足(zu),從而有效預防(fang)可能導致(zhi)工(gong)藝問題(ti)的(de)(de)(de)溫(wen)度波動。這種(zhong)精(jing)確(que)的(de)(de)(de)溫(wen)度控(kong)制系統(tong)是確(que)保加(jia)熱過程中(zhong)溫(wen)度分布均勻的(de)(de)(de)關鍵。
紅(hong)外線輻照均(jun)勻,精度誤差:≤±5%
LONGPRO紅(hong)外線均勻(yun)加熱(re)(re)模塊(kuai)在(zai)實現(xian)平(ping)(ping)面(mian)高均勻(yun)度加熱(re)(re)方面(mian)取得了顯著的(de)進展。通過(guo)優化(hua)熱(re)(re)能分布結(jie)構、光學運算設計(ji)、反光曲率調(diao)整以及精確的(de)溫度控制系統,他們(men)有效解決了平(ping)(ping)面(mian)加熱(re)(re)過(guo)程中的(de)溫度不均勻(yun)性問題,為工業(ye)生產提供了可靠的(de)解決方案(an)。